零附件暨耗材

防止於緊急狀況時(電力故障)，造成產品IMPACT 而導致產品報廢

1. 不用任何電力
2. 價格低廉
3. 無須更改管線
4. 已有客戶實績(聯電12A、美光、力晶)

1. 提供低成本高品質耗材
2. 維修品質極近新品
3. 交期: 4-6 週
4. 提供Upgrade 服務
5. 提供8吋及12吋各種Echuck 維修服務

▲AMAT ESC
0010-01286 0010-06205 0010-12516 0010-04450 0010-27430 0010-27983 0010-24456 0010-22985
▲LAM KIYO ESC
839-800327-312 839-800327-315 839-800327-385 839-019090-374 839-019090-608

改善TEL TRIAS Heater 設計，延長使用壽命

1. 新款設計，可延長使用壽命
2. 價格低廉，約為原廠的七折
3. 交期迅速
4. 已有客戶使用(聯電12A、美光)